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 針對高氟、高氯廢液廢氣設計，焚燒處理單元采用新型的焚燒爐，爐體是嚴格按照焚燒系統的3T+1E原則進行設計和制造，（T1-熱分解溫度；T2-停留時間；T3-氣流在爐內的擾動，E-空氣過剩率），為了加強氣流在爐內的擾動，在傳統的直桶爐體上部設置特殊結構，消除了傳統焚燒爐煙氣發生偏流的問題，確保燃燒器排出的含有有機廢氣和廢液的煙氣在爐內充分混合后全部可以達到分解溫度。新型的燒爐的有機物焚毀率可以達到99.99% 以上，燃燒室的焚燒溫度為1200±20℃。尾段配以急冷、酸回收、堿洗，最終煙氣達標排放。